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荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平

2025-08-16

  的高精度光刻设备领域,终于被中国技术撕开了一道口子。从依赖进口到自主突破,

荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图1)

  当高能电子束在硅基上手写电路时,就像用纳米级的毛笔在芯片上作画,0.6纳米的精度足以让任何完美主义者满意。

荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图2)

荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图3)

  专攻电子束直写这个细分领域,硬是在量子芯片和纳米器件的高端应用上找到了突破口。

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荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图4)

  要知道,日本JEOL的最新产品精度是0.8纳米,德国Raith是1.0纳米。

  中科大在量子力学和精密仪器方面的顶尖研究,加上浙大在制造业工程领域的深厚基础。

  这些配套产业一旦因为羲之获得订单,就会形成技术迭代和规模化生产的良性循环。

  据中国半导体行业协会评估,国产电子束光刻机将直接带动上游材料、零部件产业发展。

  从羲之的诞生,我们看到的不仅是技术突破,更是中国制造业从跟跑到领跑的历史性跨越。

  未来三到五年,随着产业化推广和技术不断完善,国产精密制造装备有望在更多领域实现突破。这不是终点,而是中国制造强国建设的新起点。

荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图5)

荷兰巨头坐不住了!我国“羲之”06纳米精度突破直接超越国际先进水平(图6)

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